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上海集成电路研发中心有限公司（ICRD）成立于2002年，是目前我国唯一的“国家级集成电路研发中心”。研发中心位于上海张江高科技园区，建有中国最先进的12英寸开放式集成电路试验平台，是独立的面向全行业集成电路企业、大学及研究所开放的公共研发机构。ICRD业务包括：聚焦集成电路主流技术路线，致力于解决重大共性技术的研发及服务支撑；为集成电路产业链建设提供公共装备和材料验证平台；与业界紧密合作，着力开发具有自主知识产权的核心技术芯片。

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司（研发中心二期）成立于2020年，是国家集成电路装备材料产业创新中心的建设主体。创新中心位于上海嘉定工业区，将建成净化面积超过15000平方米、月产能20000片的12英寸集成电路研发制造基地，为集成电路先进装备和材料发展提供共性技术和规模化验证平台。